应用方向：科研与教学

用途：钙钛矿太阳能电池、OLDE、锂电池、金属电极薄膜等

设备特点：

★设备可与手套箱配合使用，也可单独使用

★设备配置灵活，高集成设计

★设备兼容有机/无机蒸发,可多源共蒸

产品参数：

★腔体尺寸：400（L）×400（W）×450（H）（单位：mm）

★极限真空：≤2×10^(-5)Pa

★设备保压：保压12小时≤5Pa

★衬底：加热或水冷可选

★掩膜版：提供定制

★蒸发源数量：4—6组(兼容金属蒸发和有机蒸发）

★膜厚控制：膜厚控制方式：速率控制、速率及膜层终厚控制可选

★镀膜不均匀性：100×100mm内±5%

★控制方式:全自动或半自动控制可选