应用方向：科研与教学

用途：蒸镀电极、扫描电镜制样等

设备特点：

★结构紧凑，占地面积小

★操作简单，设备购置成本低

产品参数：

★腔体尺寸：φ300×380（H）（单位：mm）

★极限真空：≤6×10^(-5)Pa

★设备保压：保压12小时≤5Pa

★蒸发源数量：2组(电源数量1-2台可选）

★膜厚监控功能：速率控制、速率及膜层终厚控制可选

★镀膜不均匀性：90mm内（±5%）

★控制方式:半自动